清华大学仪器共享平台TRION化学气相沉积系统
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）分类标签：集成电路 微纳加工 半导体工艺 PECVD技术指标：等离子增强型化学气相淀积；工艺温度100～400℃知名用户：吴华强 微电子所；许军 微电子所；陈炜 微电子所；钱鹤 微电子所；刘泽文 微电子所；岳瑞峰 微电子所； 王喆垚 微电子所；蔡坚 微电子所；邓宁 微电子所；伍晓明 微电子所； 张志勇 北京大学技术团队：张忠会 田震 韩冰 窦维治功能特色：此设备在100～400℃下淀积SiOx、SiNx、SiO......阅读全文
清华大学仪器共享平台TRION－化学气相沉积系统
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
TRION化学气相沉积系统共享应用
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
化学气相沉积系统共享
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
清华大学仪器共享平台Ultratech－原子层沉积系统
仪器名称：原子层沉积系统仪器编号：17016605产地：美国生产厂家：Ultratech型号：Savannah S100出厂日期：购置日期：2017-06-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：haosun@ts
清华大学仪器共享平台Kurt－LAB18薄膜沉积系统
仪器名称：LAB18薄膜沉积系统仪器编号：12028282产地：中国生产厂家：Kurt型号：KJLC出厂日期：201204购置日期：201212所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-62781090
清华大学仪器共享平台nikon－系统测试
仪器名称：系统测试nikon仪器编号：A15000007产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：医研院>生物医学测试中心>尼康影像中心放置地点：医学科学楼C153固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹慧珍（010-62798727,15210512148,caohuizhen@m
清华大学仪器共享平台CSOE003－气相色谱仪
仪器名称：CSOE-003 气相色谱仪仪器编号：18504915产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：环境学院>环境学院公共研究平台>生物平台放置地点：环境教学中心A107固定电话：010-62788932固定手机：15811074101固定email：jinqiu617@126.co
清华大学仪器共享平台Gatan－直读式特殊成像系统
仪器名称：直读式特殊成像系统仪器编号：15005988产地：美国生产厂家：Gatan型号：K2出厂日期：2013.9购置日期：201504所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>冷冻电镜平台>设施蛋白质冷冻电镜平台放置地点：生物新馆129固定电话：固定手机：固定email：联系人：分类标签：电子显微
清华大学仪器共享平台四川景恒－CVD系统
仪器名称：CVD系统仪器编号：21000218产地：中国生产厂家：四川景恒科技有限公司型号：Lindberg/Blue M出厂日期：购置日期：2021-01-13所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定ema
清华大学仪器共享平台安捷伦－Cytation－10图像处理系统
仪器名称：Cytation 10图像处理系统仪器编号：A23000114产地：美国生产厂家：安捷伦公司型号：Cytation 10出厂日期：20231027购置日期：20231027所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>细胞影像 平台放置地点：生物医学馆U6 098固定电话：0106
清华大学仪器共享平台LMD7000－激光显微切割系统
仪器名称：激光显微切割系统 LMD7000仪器编号：14017291产地：德国生产厂家：Leica型号：LMD7000出厂日期：201308购置日期：201409所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点：清华大学生物医学馆U6-116固定电话：固定手机：固定em
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪仪器编号：A14000002产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：清华大学化工系工物馆305固定电话：固定手机：固定email：联系人：姜海容（010-62796284,15120075839,hrjiang@tsin
清华大学仪器共享平台管式炉
仪器名称：管式炉仪器编号：21002920产地：中国生产厂家：易安科仪（北京）国际贸易有限公司型号：TF55035C0MC出厂日期：购置日期：2021-03-02所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定ema
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪（两站）仪器编号：15012504产地：美国生产厂家：美国康塔仪器型号：Autosorb-iQ2-C出厂日期：201109购置日期：201507所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：化学工程实验楼固定电话：固定手机：固定email：联系人：马鸣宇（010-11
化学气相沉积的概述
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物
化学气相沉积的特点
1）在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固体物质沉积在基体上。 2）可以在常压或者真空条件下(负压“进行沉积、通常真空沉积膜层质量较好）。 3）采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行。 4）涂层的化学成分可以随气相组成的改变而变化
清华大学仪器共享平台Thermo－液相色谱质谱联用仪
仪器名称：液相色谱质谱联用仪仪器编号：14027370产地：美国生产厂家：Thermo型号：U3000出厂日期：201406购置日期：201412所属单位：化学系>程津培院士课题组放置地点：蒙民伟科技楼南楼S902固定电话：固定手机：固定email：联系人：分类标签：液质联用技术指标：50-6000
清华大学仪器共享平台奥林巴斯SpinSR转盘共聚焦显微成像系统
仪器名称：奥林巴斯SpinSR转盘共聚焦显微成像系统仪器编号：21019132产地：日本生产厂家：奥林巴斯型号：SpinSR出厂日期：购置日期：2021-09-08所属单位：生命学院>清华-IDG/麦戈文脑科学共享仪器开放实验室放置地点：生物医学馆U6039固定电话：010-62798607固定手机
清华大学仪器共享平台头戴式小鼠活体钙成像系统
仪器名称：头戴式小鼠活体钙成像系统仪器编号：A23000163产地：美国生产厂家：Inscopix型号：nVue出厂日期：20230212购置日期：20221230所属单位：药学院>药学技术中心>神经药理平台放置地点：固定电话：固定手机：固定email：联系人：分类标签：微型显微镜 小动物钙成像 活
清华大学仪器共享平台Gatan－离子束镀膜刻蚀系统
仪器名称：离子束镀膜刻蚀系统仪器编号：14012804产地：美国生产厂家：Gatan型号：682出厂日期：201308购置日期：201407样品要求：尺寸要求：最大尺寸直径32mm、高度10mm样品其他要求：真空下不能有挥发物。所属单位：材料学院>材料中心 >电镜中心放置地点：主楼11-127固定电
物理气相沉积和化学气相沉积的对比
化学气相沉积过程中有化学反应，多种材料相互反应，生成新的的材料。 物理气相沉积中没有化学反应，材料只是形态有改变。 物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。缺点膜一基结合力弱,镀膜不耐磨, 并有方 向性 化学杂质难以去除。优点可造金属膜、非
清华大学仪器共享平台反应离子蚀刻机
仪器名称：反应离子蚀刻机仪器编号：85427700产地：瑞典生产厂家：瑞典型号：PTL 520/520出厂日期：198509购置日期：198509所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：李希有（010-6278404
清华大学仪器共享平台低温纳米倾角台
仪器名称：低温纳米倾角台仪器编号：21000293产地：德国生产厂家：attocube systems AG型号：ANC350出厂日期：购置日期：2021-01-13样品要求：样品要求:与平台测试人员联系具体细节预约说明：测试所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台SUSS－光刻机
仪器名称：光刻机仪器编号：20004477产地：中国生产厂家：SUSS Micro Tec Lithography Gmb型号：MJB4出厂日期：购置日期：2020-06-09所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：h
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台THERMO－管式马弗炉
仪器名称：管式马弗炉仪器编号：16042569产地：中国生产厂家：THERMO型号：TF55035C-1出厂日期：购置日期：2016-12-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haosun
清华大学仪器共享平台FineTech－贴片机
仪器名称：贴片机仪器编号：11029777产地：德国生产厂家：FineTech型号：Fineplacer_145_Pico出厂日期：201109购置日期：201112样品要求：与设备工程师确认。预约说明：封装工艺所有的设备均需要提前预约，预约前请联系设备管理员，讨论样品信息和预约时间，再在网上进行预
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：05015289产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM7401出厂日期：200505购置日期：200511样品要求：不能有磁性，如铁、钴、镍；样品需干燥，不能含水及有机溶剂等；样品与样品台粘结牢固；样品尺寸合适，最大不能超过一寸；导电性不好的需要喷金处理预约说明：组
清华大学仪器共享平台Leica－高压冷冻仪
仪器名称：高压冷冻仪仪器编号：16003862产地：德国生产厂家：Leica型号：HPM100出厂日期：201412购置日期：201603所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>冷冻电镜平台样品制备>设施细胞冷冻电镜平台放置地点：清华大学郑裕彤医学楼E220(校医院北侧，清华大学西北门南200m)固