清华大学仪器共享平台Ultratech原子层沉积系统
仪器名称：原子层沉积系统仪器编号：17016605产地：美国生产厂家：Ultratech型号：Savannah S100出厂日期：购置日期：2017-06-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：haosun@tsinghua.edu.cn联系人：张秀华（010-62796594,13001178656,zhangxiuhua@mail.tsinghua.edu.cn）孙皓（010-62796594,15910619833,haosun@tsinghua.edu.cn）分类标签：工艺加工技术指标：温度100℃~250℃知名用户：清华大学电子系，物理系，材料系，微电子所，北京大学，北京理工大学，中科院物理所，浙江大学，南京大学，南京理工大学，厦门大学，深圳技术大学等技术团队：仪器开放管理团队由一名事业编制教工主管、两名合同制人员协管及 3 ......阅读全文
清华大学仪器共享平台Ultratech－原子层沉积系统
仪器名称：原子层沉积系统仪器编号：17016605产地：美国生产厂家：Ultratech型号：Savannah S100出厂日期：购置日期：2017-06-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：haosun@ts
PICOSUN－原子层沉积系统共享
仪器名称：PICOSUN 原子层沉积系统仪器编号：16041497产地：中国生产厂家：PICOSUN型号：R200 Advanced出厂日期：201709购置日期：201612所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一楼109固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹
清华大学仪器共享平台TRION－化学气相沉积系统
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
PICOSUN－原子层沉积系统共享应用
仪器名称：PICOSUN 原子层沉积系统仪器编号：16041497产地：中国生产厂家：PICOSUN型号：R200 Advanced出厂日期：201709购置日期：201612所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一楼109固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹
BENEQ－原子层沉积系统共享应用
仪器名称：BENEQ 原子层沉积系统仪器编号：09016504产地：芬兰生产厂家：BENEQ型号：TFS200-106出厂日期：200810购置日期：200910所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010
清华大学仪器共享平台Kurt－LAB18薄膜沉积系统
仪器名称：LAB18薄膜沉积系统仪器编号：12028282产地：中国生产厂家：Kurt型号：KJLC出厂日期：201204购置日期：201212所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-62781090
Picosun－Oy真空互联原子层沉积系统共享应用
仪器名称：真空互联-原子层沉积系统仪器编号：21029113产地：芬兰生产厂家：Picosun Oy型号：R-200 Advanced出厂日期：购置日期：2021-11-25所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点：微电子学研究所南平房实验室108号固定电话：01062784044固定
清华大学仪器共享平台nikon－系统测试
仪器名称：系统测试nikon仪器编号：A15000007产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：医研院>生物医学测试中心>尼康影像中心放置地点：医学科学楼C153固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹慧珍（010-62798727,15210512148,caohuizhen@m
原子层沉积系统（ALD）的介绍
是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。
原子层沉积系统（ALD）的原理
原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）。当前驱体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层
原子层沉积系统（ALD）的应用
原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型（厚度、成份和结构） 原子层沉积（Atomic Layer Deposition，ALD），最初称为原子层外延（Atomic Layer Epitaxy，ALE），也称为原子层化学气相沉积（Atomic Layer Chemical Vapor Depo
原子层沉积
原子层沉积(ALD)是一种真正的"纳米"技术，以精确控制的方式沉积几个纳米的超薄薄膜。 原子层沉积的两个限定性特征--自约束的原子逐层生长和高度保形镀膜--给半导体工程，微机电系统和其他纳米技术应用提供了许多好处。 原子层沉积的优点 因为原子层沉积工艺在每个周期内精确地沉积一个原子层，所以能
清华大学仪器共享平台Gatan－直读式特殊成像系统
仪器名称：直读式特殊成像系统仪器编号：15005988产地：美国生产厂家：Gatan型号：K2出厂日期：2013.9购置日期：201504所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>冷冻电镜平台>设施蛋白质冷冻电镜平台放置地点：生物新馆129固定电话：固定手机：固定email：联系人：分类标签：电子显微
对于原子层沉积系统（ALD）的研究
原子层沉积（ALD）的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力，所制备的薄膜保形性好、纯度高且均匀，因而引起了人们广泛的关注。原子尺度上的ALD过程仿真对深入了解沉积机理，改进和优化薄膜生长工艺，提高薄膜质量，改善薄膜性质具有重要意义。在深入了解ALD的工艺特点及工艺过程后
清华大学仪器共享平台LMD7000－激光显微切割系统
仪器名称：激光显微切割系统 LMD7000仪器编号：14017291产地：德国生产厂家：Leica型号：LMD7000出厂日期：201308购置日期：201409所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点：清华大学生物医学馆U6-116固定电话：固定手机：固定em
清华大学仪器共享平台四川景恒－CVD系统
仪器名称：CVD系统仪器编号：21000218产地：中国生产厂家：四川景恒科技有限公司型号：Lindberg/Blue M出厂日期：购置日期：2021-01-13所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定ema
清华大学仪器共享平台安捷伦－Cytation－10图像处理系统
仪器名称：Cytation 10图像处理系统仪器编号：A23000114产地：美国生产厂家：安捷伦公司型号：Cytation 10出厂日期：20231027购置日期：20231027所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>细胞影像 平台放置地点：生物医学馆U6 098固定电话：0106
清华大学仪器共享平台普析－原子吸收光谱仪
仪器名称：原子吸收光谱仪仪器编号：05011168产地：中国生产厂家：北京普析通用仪器公司型号：TAS990出厂日期：200412购置日期：200508所属单位：化学系>分析中心>无机元素分析实验室-1放置地点：理科楼4206固定电话：固定手机：固定email：联系人：邢志（010-62781687
清华大学仪器共享平台管式炉
仪器名称：管式炉仪器编号：21002920产地：中国生产厂家：易安科仪（北京）国际贸易有限公司型号：TF55035C0MC出厂日期：购置日期：2021-03-02所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定ema
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪仪器编号：A14000002产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：清华大学化工系工物馆305固定电话：固定手机：固定email：联系人：姜海容（010-62796284,15120075839,hrjiang@tsin
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪（两站）仪器编号：15012504产地：美国生产厂家：美国康塔仪器型号：Autosorb-iQ2-C出厂日期：201109购置日期：201507所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：化学工程实验楼固定电话：固定手机：固定email：联系人：马鸣宇（010-11
清华大学仪器共享平台Gatan－离子束镀膜刻蚀系统
仪器名称：离子束镀膜刻蚀系统仪器编号：14012804产地：美国生产厂家：Gatan型号：682出厂日期：201308购置日期：201407样品要求：尺寸要求：最大尺寸直径32mm、高度10mm样品其他要求：真空下不能有挥发物。所属单位：材料学院>材料中心 >电镜中心放置地点：主楼11-127固定电
清华大学仪器共享平台头戴式小鼠活体钙成像系统
仪器名称：头戴式小鼠活体钙成像系统仪器编号：A23000163产地：美国生产厂家：Inscopix型号：nVue出厂日期：20230212购置日期：20221230所属单位：药学院>药学技术中心>神经药理平台放置地点：固定电话：固定手机：固定email：联系人：分类标签：微型显微镜 小动物钙成像 活
清华大学仪器共享平台奥林巴斯SpinSR转盘共聚焦显微成像系统
仪器名称：奥林巴斯SpinSR转盘共聚焦显微成像系统仪器编号：21019132产地：日本生产厂家：奥林巴斯型号：SpinSR出厂日期：购置日期：2021-09-08所属单位：生命学院>清华-IDG/麦戈文脑科学共享仪器开放实验室放置地点：生物医学馆U6039固定电话：010-62798607固定手机
原子层沉积的研究
原子层沉积（ALD）的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力，所制备的薄膜保形性好、纯度高且均匀，因而引起了人们广泛的关注。原子尺度上的ALD过程仿真对深入了解沉积机理，改进和优化薄膜生长工艺，提高薄膜质量，改善薄膜性质具有重要意义。在深入了解ALD的工艺特点及工艺过程后，针
清华大学仪器共享平台海光－原子荧光光谱仪
仪器名称：原子荧光光谱仪仪器编号：05011167产地：中国生产厂家：北京科创海光科技公司型号：AFS3100出厂日期：200507购置日期：200508所属单位：化学系>分析中心>无机元素分析实验室-1放置地点：理科楼4206固定电话：固定手机：固定email：联系人：邢志（010-6278168
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台Leica－高压冷冻仪
仪器名称：高压冷冻仪仪器编号：16003862产地：德国生产厂家：Leica型号：HPM100出厂日期：201412购置日期：201603所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>冷冻电镜平台样品制备>设施细胞冷冻电镜平台放置地点：清华大学郑裕彤医学楼E220(校医院北侧，清华大学西北门南200m)固
清华大学仪器共享平台反应离子蚀刻机
仪器名称：反应离子蚀刻机仪器编号：85427700产地：瑞典生产厂家：瑞典型号：PTL 520/520出厂日期：198509购置日期：198509所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：李希有（010-6278404
清华大学仪器共享平台THERMO－管式马弗炉
仪器名称：管式马弗炉仪器编号：16042569产地：中国生产厂家：THERMO型号：TF55035C-1出厂日期：购置日期：2016-12-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haosun