近物所离子联合注入单晶硅制备SOI材料研究获进展
中科院近代物理研究所科研人员将320 kV高压平台提供的氦离子和氧离子联合注入单晶硅，研究氦离子注入所导致的氦泡和纳米空腔与氧原子的相互作用机理，获得进展。 实验中，科研人员首先向单晶硅中注入30 keV、3×1016/cm2的氦离子，然后将样品切成两块：一块做退火处理，退火温度为1073K，退火时间为30分钟；另外一块不做退火处理。实验清楚地表明：退火前样品内部存在高密度的氦泡。其截面透射电镜结果如图1所示。 科研人员将注氦后的样品再注入100 keV的氧离子，剂量为3×1016/cm2。再选择一块单晶硅，注入同样条件的氧离子。氧离子注入完成后，经高温退火处理 (1423K,3h和1473K,2h)，退火气氛为Ar/O2 (100/10)。利用截面透射电镜研究了样品内部的微结构氧原子分布，发现氦、氧离子联合注入能够提高样品内部氧的含量，降低样品内部缺陷的密度，如图2和3所示。 这些研究表明：氦离子注入......阅读全文
近物所离子联合注入单晶硅制备SOI材料研究获进展
中科院近代物理研究所科研人员将320 kV高压平台提供的氦离子和氧离子联合注入单晶硅，研究氦离子注入所导致的氦泡和纳米空腔与氧原子的相互作用机理，获得进展。 实验中，科研人员首先向单晶硅中注入30 keV、3×1016/cm2的氦离子，然后将样品切成两块：一块做退火处理，退火温
科研人员发现氧掺杂可以引发层间Pt原子的重构
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/8/506770.shtm近日，来自西北工业大学和西安交通大学的学者使用具有明确晶体结构和原子厚度的二维 PtTe2 范德华材料作为模型催化剂，观察到适度的煅烧策略可以促进二维晶体 PtTe2 纳米片（c-Pt
离子注入机概述
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。 中文名：离子注入机 外文名:Ion implanter 属 性
离子注入机的应用
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了
离子注入机的原理
离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成，可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子的能量高于原子的电离电位时，通过
科研人员揭示食盐原子级别溶解机制
近日，深圳理工大学（筹）材能学院教授、中国科学院深圳先进技术研究院丁峰团队联合韩国蔚山科学技术大学新材料工程系教授Shin Hyung-jun研究团队开发了一种“单离子控制技术”，研究团队成功在原子级别上观察到食盐溶解过程，并实现了在原子级别控制氯化钠的溶解过程。相关研究成果发表在《自然—通讯》上。
科研人员揭示食盐原子级别溶解机制
近日，深圳理工大学（筹）材能学院教授、中国科学院深圳先进技术研究院丁峰团队联合韩国蔚山科学技术大学新材料工程系教授Shin Hyung-jun研究团队开发了一种“单离子控制技术”，研究团队成功在原子级别上观察到食盐溶解过程，并实现了在原子级别控制氯化钠的溶解过程。相关研究成果发表在《自然—通讯》上。
大连化物所等金属载体界面结构研究取得新进展
近日，中国科学院大连化学物理研究所催化基础国家重点实验室催化反应化学研究组副研究员周燕、研究员申文杰等与德国卡尔斯鲁厄理工学院教授汪跃民、丹麦托普索公司博士Jens Sehested等合作，在铜催化剂活性位原子结构及反应机理研究方面取得新进展。研究成果在线发表在《自然-催化》（Nature Ca
大连化物所等金属载体界面结构研究取得新进展
近日，中国科学院大连化学物理研究所催化基础国家重点实验室催化反应化学研究组副研究员周燕、研究员申文杰等与德国卡尔斯鲁厄理工学院教授汪跃民、丹麦托普索公司博士Jens Sehested等合作，在铜催化剂活性位原子结构及反应机理研究方面取得新进展。研究成果在线发表在《自然-催化》（Nature Ca
离子注入机的结构组成
离子注入机由5部分组成：离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。 1、离子源 离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子，使之电离。待注入的杂质源如果是气态，便可以直接引入到离子源的电场中，如果是固态，则还需加热蒸发，变为气相后引入到这个电场中。气相的杂
离子注入机有哪些类型
常用的生产型离子注入机主要有三种类型：低能大束流注入机、高能注入机和中束流注入机，如下表所示：离子注入机类型离子注入机类型能量范围注入剂量范围工艺中的主要应用低能大束流离子注入机0.2keV~100keV超浅结、源漏注入、多晶硅栅极注入等高能离子注入机~MEV深埋层等 低能大束流离子注入机：大
大连化物所等金属载体界面结构研究取得新进展
近日，中国科学院大连化学物理研究所催化基础国家重点实验室催化反应化学研究组副研究员周燕、研究员申文杰等与德国卡尔斯鲁厄理工学院教授汪跃民、丹麦托普索公司博士Jens Sehested等合作，在铜催化剂活性位原子结构及反应机理研究方面取得新进展。研究成果在线发表在《自然-催化》（Nature Ca
氧族元素的原子结构
原子序数元素电子层结构8氧2, 616硫2, 8, 634硒2, 8, 18, 652碲2, 8, 18, 18, 684钋2, 8, 18, 32, 18, 6116鉝2, 8, 18, 32, 32, 18, 6相同点·原子最外层有6个电子·反应中易得到2个电子·表现氧化性不同点·除氧外其它氧族
聚焦离子束（FIB）技术介绍
1.引言 随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业发展迅速，而纳米加工就是纳米制造业的核心部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束（FIB）技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜实时观察，成为了纳米级分析、制造的主要方法。目
稀磁性半导体的制备方法
分子束外延法分子束外延（MBE）技术由于其在原子尺度上精 确控制外延膜厚、掺杂和界面平整度的特点，明显优 于液相外延法和气相外延生长法，更有利于生长高质 量DMS薄膜。采用低温分子束外延（LT-MBE）技术， 能够有效的抑制新相的析出，同时辅助以高能电子衍 射仪（RHEED），监控生长过程中的表面再
金星白昼侧直接探测到原子氧
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/11/512030.shtm
科研人员揭示链球菌抗氧胁迫新机制
链球菌是革兰氏阳性、兼性厌氧细菌，它们主要栖息在人类口腔及上呼吸道，与人类健康密切相关。其中肺炎链球菌（Streptococcus pneumoniae）是机会致病菌，导致肺炎、脑膜炎等疾病；变形链球菌(S. mutans）是龋齿的主要致病菌；而口腔有益菌寡发酵链球菌(S. oligoferme
离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖
记者29日从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。 据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，28纳米则是当前芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。 电科装备连
离子注入碳后铀表面吸附行为研究
本文利用俄歇电子能谱(AES)研究了清洁纯铁、离子注入碳纯铁、清洁铀以及离子注入碳铀表面与氧气吸附及初始氧化的过程。 首先,实验分析了不同氧暴露剂量对纯铁、离子注入碳纯铁、铀、离子注入碳铀表面吸附及初始氧化过程的影响,研究结果表明:室温下,纯铁表面吸附氧气及初始氧化的速率大于离子注入碳纯铁表面吸附氧
科研人员：量子纠缠可提升光学原子钟精度
美国科罗拉多大学博尔德分校和美国国家标准与技术研究院的量子物理学家们，利用量子纠缠在原子和电子尺度上再现了一个充满不同滴答声“房间”的场景。这一成就可能为开发新型光学原子钟铺平道路。相关研究成果9日发表在《自然》杂志上。光学原子钟通过监测原子内部固有的“滴答”频率来极其精确地追踪时间。尽管这些时钟已
透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么？
透射电镜得到的图像应该是厚度衬度和衍射衬度的叠加。就衍射衬度来讲是不是晶格对电子散射之后电子的在平面上的分布密度。为什么能够称为原子像呢？另外微过焦和微欠焦时候有时候是亮点为原子像，有时候是暗点。Part 1: Transmission Electron Microscope (TEM)所谓TEM，
透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么？
所谓TEM，就是一个放大镜叠加了一台照相机。这台放大镜的放大倍数比较高，可高达一百万倍。当然，抛开分辨率谈放大倍数都是耍流氓，那么，TEM的分辨率有多高呢？答案是 it depends。一般来说，TEM的分辨率要在1到2个纳米，STEM更高，但是STEM得成像技术类似于SEM，但用的不是二次电子。我
透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么？
问：透射电镜得到的图像应该是厚度衬度和衍射衬度的叠加。就衍射衬度来讲是不是晶格对电子散射之后电子的在平面上的分布密度。为什么能够称为原子像呢？另外微过焦和微欠焦时候有时候是亮点为原子像，有时候是暗点是。答：写在最前面：知乎里面经常看到关于某某的本质是啥的问题。就成像而言，我来谈谈我的理解。“ 成像的
纳米催化“高稳定性”新星诞生
提到大型化工，人们往往首先想到鳞次栉比的工业厂房。然而，在这些高耸入云的“钢铁森林”里面，决定化工过程效率的却是众多的催化剂。这些催化剂通过调控反应途径和加速反应进程提高效率，其中在纳米乃至原子尺度上的活性位结构更是催化作用的核心。 近日，中国科学院大连化学物理研究所（以下简称大化所）催化基础
纳米催化“高稳定性”新星诞生
提到大型化工，人们往往首先想到的是鳞次栉比的工业厂房。然而，在这些高耸入云的“钢铁森林”里面，决定化工过程效率却是众多的催化剂。这些催化剂通过调控反应途径和加速反应进程提高过程效率，其中在纳米乃至原子尺度上的活性位结构是催化作用的核心。 近日，中国科学院大连化学物理研究所（以下简称“大化所”
辽宁成功运用“氧剪刀”制备悬浮硅原子单层
近日，大连理工大学与澳大利亚伍伦贡大学合作，在硅烯材料的氧化和单原子层剥离方面取得重要突破，成功利用氧分子作为“剪刀”，将硅烯原子层从金属基底上剥离，为硅烯器件研究提供了解决方案。相关成果发表在《科学》子刊《科学进展》上。 硅烯在由实验室走向工业化应用的道路上依然面临着很多的困难。最大的挑
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近日，大连理工大学与澳大利亚伍伦贡大学合作，在硅烯材料的氧化和单原子层剥离方面取得重要突破，成功利用氧分子作为“剪刀”，将硅烯原子层从金属基底上剥离，为硅烯器件研究提供了解决方案。相关成果发表在《科学》子刊《科学进展》上。 硅烯在由实验室走向工业化应用的道路上依然面临着很多的困难。最大的挑战
原位液相样品杆的优点
原位液相样品杆可帮助科学家对流动或静态液体进行原子分辨率的观察。随着科学技术的飞速发展，普通透射电镜（TEM）已经不能满足科学家的科研需求。而在透射电镜基础上发展而来的原位技术，能够突破现有透射电镜对于真空度要求的限制，利用现有电镜平台即可完成原位气体环境及加热功能，使科研工作者能够在更宽的参数（气
科研人员成功制备出34种单原子催化剂
记者从中国科学技术大学获悉，该校合肥微尺度物质科学国家研究中心和化学物理系曾杰教授、周仕明副教授研究团队，发展出了一套利用电化学沉积制备单原子催化剂的普适性方法，利用该方法研究人员成功制备出了34种单原子催化剂，覆盖了多种过渡金属和多种衬底。相关成果日前发表在《自然·通讯》上。 单原子催化剂因
科研人员发现铜氧超导体过掺杂存在普遍电荷序
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/9/509513.shtm北京大学物理学院量子材料科学中心彭莹莹课题组运用先进的共振X射线散射谱学技术，在铜基超导La2-xSrxCuO4超导区域外过掺杂区发现电荷有序相——“电荷晶体”，打破了该区域通常被认为