清华大学仪器共享平台Ultratech原子层沉积系统
仪器名称：原子层沉积系统仪器编号：17016605产地：美国生产厂家：Ultratech型号：Savannah S100出厂日期：购置日期：2017-06-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：haosun@tsinghua.edu.cn联系人：张秀华（010-62796594,13001178656,zhangxiuhua@mail.tsinghua.edu.cn）孙皓（010-62796594,15910619833,haosun@tsinghua.edu.cn）分类标签：工艺加工技术指标：温度100℃~250℃知名用户：清华大学电子系，物理系，材料系，微电子所，北京大学，北京理工大学，中科院物理所，浙江大学，南京大学，南京理工大学，厦门大学，深圳技术大学等技术团队：仪器开放管理团队由一名事业编制教工主管、两名合同制人员协管及 3 ......阅读全文
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台WESTBOND－键合机
仪器名称：键合机仪器编号：19019277产地：生产厂家：WESTBOND, INC型号：7476D出厂日期：购置日期：2019-10-29所属单位：物理系>离子束刻蚀实验室放置地点：理科楼 C-207固定电话：010-62772764固定手机：13552113513固定email：jianglin
清华大学仪器共享平台PVA－超声检测设备
仪器名称：超声检测设备仪器编号：12006229产地：德国生产厂家：PVA型号：KSI SAM300出厂日期：201110购置日期：201204所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：马海艳（010-66668888
清华大学仪器共享平台低温纳米倾角台
仪器名称：低温纳米倾角台仪器编号：21000293产地：德国生产厂家：attocube systems AG型号：ANC350出厂日期：购置日期：2021-01-13样品要求：样品要求:与平台测试人员联系具体细节预约说明：测试所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定
清华大学仪器共享平台THERMO－管式马弗炉
仪器名称：管式马弗炉仪器编号：16042569产地：中国生产厂家：THERMO型号：TF55035C-1出厂日期：购置日期：2016-12-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haosun
清华大学仪器共享平台Leica－高压冷冻仪
仪器名称：高压冷冻仪仪器编号：16003862产地：德国生产厂家：Leica型号：HPM100出厂日期：201412购置日期：201603所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>冷冻电镜平台样品制备>设施细胞冷冻电镜平台放置地点：清华大学郑裕彤医学楼E220(校医院北侧，清华大学西北门南200m)固
清华大学仪器共享平台金盛微纳－全自动磁控溅射系统
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
清华大学仪器共享平台荧光显微光学切片断层成像系统
仪器名称：荧光显微光学切片断层成像系统仪器编号：22023668产地：中国生产厂家：武汉沃亿生物有限公司型号：BioMapping 5000M出厂日期：购置日期：2022-11-02所属单位：生命学院>清华-IDG/麦戈文脑科学共享仪器开放实验室放置地点：生物医学馆U6039固定电话：固定手机：固定
原子层沉积系统（ALD）－跟热蒸镀沉积有什么区别？
原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）。当前驱体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层
清华大学仪器共享平台高速落地离心机
仪器名称：高速落地离心机仪器编号：14007980产地：德国生产厂家：Thermo Fisher型号：lynx 4000出厂日期：201301购置日期：201405所属单位：医学院>免疫所放置地点：医学科学楼D324固定电话：固定手机：固定email：联系人：吴小静（010-62796829,158
清华大学仪器共享平台奥林巴斯－金相显微镜
仪器名称：金相显微镜仪器编号：11001102产地：日本生产厂家：奥林巴斯型号：MX51出厂日期：201009购置日期：201101所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点：微电子所新所一层测试间固定电话：固定手机：固定email：联系人：包艳琳（010-62784044,13020
清华大学仪器共享平台紫外臭氧清洗机
仪器名称：紫外臭氧清洗机仪器编号：19011740产地：中国生产厂家：北京中科微控科技有限公司型号：SC-UV-I出厂日期：购置日期：2019-08-13所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：h
清华大学仪器共享平台Janome－桌上型点胶机
仪器名称：桌上型点胶机仪器编号：11029360产地：日本生产厂家：Janome型号：JR2303N出厂日期：201109购置日期：201112所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：郑瑶（010-62798268,
清华大学仪器共享平台DEK－丝网印刷机
仪器名称：丝网印刷机仪器编号：12002078产地：英国生产厂家：DEK型号：DEK Galaxy出厂日期：201110购置日期：201202所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：郑瑶（010-62798268,1
清华大学仪器共享平台低温恒温器
仪器名称：低温恒温器仪器编号：22045286产地：美国生产厂家：多为莱博（香港）有限公司型号：DE204SF出厂日期：购置日期：2023-03-03所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：hao
清华大学仪器共享平台双光子显微镜
仪器名称：双光子显微镜仪器编号：15017684产地：日本生产厂家：Olympus型号：FV1200MPE出厂日期：201403购置日期：201510所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点：清华大学生物医学馆U6-119固定电话：固定手机：固定email：联系
清华大学仪器共享平台Struers－金相抛磨机
仪器名称：金相抛磨机仪器编号：04009981产地：丹麦生产厂家：Struers公司型号：TegraPol-15出厂日期：200407购置日期：200410所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所平房固定电话：固定手机：固定email：联系人：马海艳（010-66668888
清华大学仪器共享平台磁控溅射镀膜机
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
清华大学仪器共享平台Nikon－NISElements－AR
仪器名称：Nikon NIS-Elements AR仪器编号：A18000033产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>细胞影像 平台放置地点：清华大学生物医学馆U6-110固定电话：010-62772736固定手机：固定email：imagi
清华大学仪器共享平台THERMO－通用管式炉
仪器名称：通用管式炉仪器编号：17005496产地：美国生产厂家：THERMO型号：STF55433PC-1出厂日期：购置日期：2017-03-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haos
清华大学仪器共享平台JEOL－电子探针（EPMA）
仪器名称：电子探针（EPMA）仪器编号：13010514产地：日本生产厂家：JEOL型号：JXA8230出厂日期：2010.1购置日期：201306所属单位：材料学院>材料中心 >逸夫楼部分>电子探针、X射线荧光分室放置地点：逸夫技科楼A306室固定电话：固定手机：固定email：联系人：朱彦洁（0
清华大学仪器共享平台SET－倒装键合机
仪器名称：倒装键合机仪器编号：21018517产地：法国生产厂家：SET型号：FC150出厂日期：购置日期：2021-09-08所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：集成电路学院一层微纳平台固定电话：010-62798268固定手机：13811838182固定email：zheng
清华大学仪器共享平台DRYTEK－去胶设备(等离子光刻)
仪器名称：去胶设备(等离子光刻)仪器编号：90175600产地：美国生产厂家：DRYTEK型号：MS-5出厂日期：199002购置日期：199003所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：李希有（010-627840
清华大学仪器共享平台场发射环境扫描电镜
仪器名称：场发射环境扫描电镜仪器编号：06011403产地：荷兰生产厂家：FEI型号：QUANTA 200 FEG出厂日期：200607购置日期：200611所属单位：机械系>摩擦学国家重点实验室>SEM FIB放置地点：李兆基科技大楼A510室固定电话：010-62772522固定手机：固定ema
清华大学仪器共享平台X射线衍射仪8号
仪器名称：8号-X射线衍射仪仪器编号：20013432产地：德国生产厂家：Bruker型号：D8 Discover出厂日期：购置日期：2020-09-21所属单位：材料学院>材料中心 >逸夫楼部分>X射线衍射分室放置地点：逸夫技术科学楼A145固定电话：010-62784581固定手机：固定emai
清华大学仪器共享平台Zeiss－FIB－聚焦离子束
仪器名称：聚焦离子束 Zeiss FIB仪器编号：16005806产地：德国生产厂家：蔡司型号：Auriga出厂日期：201506购置日期：201603样品要求：FIB样品要求：制备TEM样品要求：直径12.5mm以内，高度2mm以内，抛光级别0.5um以上。其他FIB加工要求：直径32.5mm以内
清华大学仪器共享平台X射线衍射仪1号
仪器名称：1号-X射线衍射仪仪器编号：A18000067产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：材料学院>材料中心 >逸夫楼部分>X射线衍射分室放置地点：逸夫技科楼1147室固定电话：010-62784581固定手机：固定email：thclzx-xrd@mail.tsinghua.ed
清华大学仪器共享平台湖南湘仪－离心机
仪器名称：离心机仪器编号：18016651产地：中国生产厂家：湖南湘仪器型号：H1850出厂日期：购置日期：2018-06-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haosun@tsinghu
清华大学仪器共享平台JSM7401－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：05015289产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM7401出厂日期：200505购置日期：200511所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：工物馆104固定电话：62794135固定手机：固定email：联系人：蔡红英（010-6279413