实时AMC检测将改变整个半导体行业
核心看点：晶圆载具（FOUP）内的空气分子污染物（AMC）直接关联缺陷与良率损失。TOFWERK 的 AMC Monitor 实现秒级实时筛查，10个 FOUP 不到10分钟完成，有望重塑先进制造污染管控。 前开式统一载具（FOUP）用于各工艺步骤间晶圆的运输与存储。它是先进晶圆厂里连接光刻、刻蚀、沉积等关键工序的"晶圆快递舱"，其微型环境的洁净度直接决定下游良率。尽管管控严格，这些微型环境仍会因前序工艺暴露、材料释气及转运中与洁净室空气交互而累积空气分子污染物（AMC）；同时 FOUP 聚合物材料可能在某一步吸附挥发性有机物（VOC），在后续阶段释放，使晶圆暴露于非预期化学环境。晶圆缺陷与良率损失已被直接归因于 FOUP 内 AMC，尤其在先进制程节点，因此 FOUP 监测与认证至关重要。 为应对这一挑战，TOFWERK 的 AMC Monitor 在与合适的装载口对接接口集成后，可对 FOUP 内 AMC 进行快速、......阅读全文
实时AMC检测将改变整个半导体行业
核心看点：晶圆载具（FOUP）内的空气分子污染物（AMC）直接关联缺陷与良率损失。TOFWERK 的 AMC Monitor 实现秒级实时筛查，10个 FOUP 不到10分钟完成，有望重塑先进制造污染管控。 前开式统一载具（FOUP）用于各工艺步骤间晶圆的运输与存储。它是先进晶圆厂里连接光刻、
实时AMC分析将改变整个半导体制造行业
导语：在先进半导体的晶圆厂中，一枚晶圆的良率可能毁于肉眼不可见的气态分子污染物。而实时AMC（气态分子污染物）分析技术的出现，正在改写整个行业对污染管控的方式。前开式统一晶圆盒（FOUP）用于在半导体各工艺步骤间传送与储存晶圆。即便严加控制，这些微环境仍会因前道工艺暴露、材料放气，以及与厂务空气的交
晶圆检测将改变整个行业
导语：在前沿晶圆制造中，微小的分子污染物即可吞噬良率；实时 AMC 分析正让 FOUP 筛查提速。 前开式统一舱（FOUP）用于半导体制造工序之间的晶圆传输与存储。尽管管控严密，这些微环境仍可能因先前工艺暴露、材料释气，以及传输搬运中与洁净厂房空气的接触而积累空气分子污染物（AMC）。FOUP 也
传统检测－vs－AMC监测：谁更胜一筹？
传统检测 vs AMC监测：谁更胜一筹？前开式统一封装盒（FOUP）用于在半导体制造各工艺步骤之间运输和存储晶圆。尽管管控严密，这些微型环境仍会因前期工艺暴露、材料释气，以及在运输和操作中与外界洁净室空气相互作用，而积累空气分子污染物（AMC）。FOUP也是交叉污染的关键载体：各工艺使用特定化学品，
Vocus化学电离质谱法助力半导体FOUPs－AMC污染快速检测
背景介绍 一片晶圆从开始加工到出厂，涉及到数百个不同的工艺流程。因不同工艺所在车间的位置和设备档期等原因，这些制程在地点和时间上并不是连续发生的，因此，晶圆在不同工艺设备之间的运输和不定时长的‘排队’是很难避免的。半导体行业内通常采用前开式晶圆运输盒（FOUPs）来运送和临时储存晶圆。换句
SEMICON－China－|－谱育科技全新发布EXPEC－7350S－PLUS，助力助力半导体检测国产化
2026年3月25日，SEMICON China 2026在上海新国际博览中心开幕。本届展会以“跨界全球，心芯相连”为主题，汇集全球半导体制造领域主要设备与材料厂商，是产业链上下游技术交流与合作的重要平台之一。 展会期间，谱育科技发布了新款三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）——E
聚光科技全面布局半导体精密检测－－－ICPMS新进展
聚光科技ICP-MS（等离子体质谱分析仪）自2020年全力推进半导体领域，近期，部分产品（科学仪器）实现集成电路制造头部企业测试，目前产品稳定运行。公司于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台，针对半导体行业检测需求，推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统，
芯片良率守护者：半导体检测量测设备概述
一、质量控制把关良率，多种设备各司其职（一）芯片制造过程中会产生缺陷，质量控制设备把关良品率芯片制造过程中会产生颗粒、互联、静电损伤等工艺缺陷。以芯片前道制程为例， 其具体缺陷包括：空气中的分子污染或由环境引起的有机物或无机物颗粒；工艺过 程引起的划痕、裂纹和颗粒、覆盖层缺陷和应力；在从掩模到晶片的
完善超纯水系统，提高IC制造良率
在电子工业中，集成电路特征尺寸不断缩小，使得生产过程中超纯水的水质要求也愈来愈高。电子工厂洁净厂房设计中纯水供应是重要内容之一，各种电子产品生产工艺对纯水水质、水量要求均不相同。 IC制造应关注超纯水水质 电子产品生产中纯水系统应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求，结合系统规模、材料及设备
四方光电尘埃粒子计数器精准监测微粒污染，助力显示面板制程良率提升
受益于下游电视、电脑、手机等消费类电子产品以及商显、车载、医疗等专显产品需求的推动，近年来中国显示面板市场规模整体呈增长态势，由2016年的2984亿元增长至2023的5694亿元，但整体增速逐步趋缓，市场竞争进一步加剧。中大尺寸市场仍由LCD技术主导，但竞争格局较为固定，需要进一步提升产品良率
AI赋能甲状腺结节良恶性诊断－大幅提升准确率
术后检测？穿刺活检？在手术前，甲状腺结节的良性恶性难分辨。西湖大学教授郭天南团队将高通量蛋白质组学与Al技术结合，诊断准确率提高到85%以上。 9月6日，西湖大学郭天南研究员团队、李子青教授团队及临床合作者在学术期刊《细胞发现》（Cell Discovery）杂志上发表论文“Artificial
半导体材料迎机遇－有望提升国产化率
中银证券研报指出：1）我国半导体材料市场规模不断增长，国产化持续推进。AI驱动先进制程市场需求增长，半导体制造产能扩张，有望进一步带动相关材料的采购需求。近年来我国出台大量政策支持半导体领域创新和产业化，半导体材料国产化率有望持续提升。2）多家企业积极布局先进封装材料。目前多款先进封装材料被国外企业
研修班第三日：直面半导体良率难题，探析检测与表征新技术路径
2026年7月20-24日，作为人力资源和社会保障部专业技术人才知识更新工程2026年高级研修项目之一的“半导体材料与器件超精密分析技术”高级研修班在上海正式开班。本次高级研修班由中国科学院人才与人事局专项资助、中国科学院上海硅酸盐研究所承办。 7月23日，研修班进入第三天。中国科学院微电子研
四方光电尘埃粒子计数器在半导体洁净生产中的应用
半导体产能不断扩张，配套设备需求提升加速 随着电子信息产业的迅速发展，中国半导体行业市场规模也从2017年的1315亿美元增长至2022年的1820亿美元。基于半导体产业国产化进程不断加快，下游晶圆厂也在不断扩张，中国芯片制造商预计2024 年将新开18座晶圆厂，产能将从760万片推升至860
Nature－Biotechnology：北大陈良怡提升荧光显微镜两倍分辨率
2014年诺贝尔化学奖授予了荧光超分辨显微技术，利用荧光分子的化学开关特性（PALM/FPALM/STORM）或者物理的直接受激辐射现象（STED），实现超越衍射极限的超分辨成像。尽管如此，活细胞中的超分辨率成像仍然存在两个主要瓶颈： （1）超分辨率的光毒性限制了观察活细胞中精细生理过程；（2
良种+良法助推新疆棉花单产提升
近日，由中国科学院院士朱玉贤、中国工程院院士陈学庚等专家组成的测产专家组，对新疆维吾尔自治区某基地种植的“中棉113”进行了田间测产。测产结果显示，百亩示范田平均籽棉亩产达750.3公斤，千亩示范田平均籽棉亩产达637.7公斤。朱玉贤表示，“中棉113”早熟性突出，吐絮畅、吐絮集中，这一表现契合了新
空气污染物检测的取样技术
空气分子污染物，例如染料和油漆所释放出的有害化合物，可能对公众的身体健康带来危害，本文介绍了AMC采样箱技术，借助其可轻松实现对众多AMC物质的分析鉴定工作。 无论是对电子芯片制造商、药品生产、食品生产还是公众日常的家庭生活来说，空气分子污染均是不可忽视的污染类型，它会导致产品缺陷、停产以
新品发布：Sievers－Boron－Ultra在线超纯水硼分析仪
Sievers分析仪产品组合再次扩展，以满足微电子行业的严格要求。预计到2032年，微电子制造市场将从2023年的5097亿美元增长至9344亿美元。随着半导体器件变得越来越小、越来越复杂，微电子制造对关键资源——超纯水（UPW）的需求也将继续增长。 新款Sievers® Boron Ultr
传统方法－vs－气体分析：谁更胜一筹？
案例详情：制药与半导体的严苛需求 气体分析在众多行业中举足轻重，但在安全、质量与工艺精度至关重要的场景里，其价值尤为凸显。无论是制药、半导体制造、医疗还是工业加工，精确测量气体都是维持控制、保障可靠运行的必需。这些行业工艺与目标迥异，却有一个共同要求：以高精度理解并控制气体组成。气体分析的价值，就
布鲁克联合TOFWERK共同开发应用市场
TOFWERK 紧凑、快速的飞行时间质谱仪针对小分子应用进行了优化创新的在线化学电离技术可实现用于固定和移动分析的高灵敏度和原位小分子检测灵敏、实时的 TOF-MS 解决方案可用于半导体行业、环境空气分析、软木塞分析和呼出气诊断研究 2022年5月10日瑞士图恩 --布鲁克公司和TOFWERK
泰瑞达引入实时分析解决方案至测试流程
2023年8月2日，中国 北京讯 —— 全球先进的自动测试设备供应商泰瑞达（NASDAQ:TER）今日宣布，推出泰瑞达Archimedes解决方案---这一开放式架构将实时分析引入半导体测试。该解决方案可优化测试流程、提升良率并降低成本，同时减少当前云端方案存在的安全隐患。泰瑞达半导体测试事业部营销
半导体工艺废气如何处理
半导体废气处理废气介绍：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的
传统方法－vs－飞行时间质谱：谁更胜一筹？
在半导体制造与工业过程控制中，实时气体监测需要传统仪器无法企及的时间分辨率。飞行时间质谱（TOFMS）以毫秒级采样，正在改写过程监测的规则。 当代工业过程控制与半导体制造，要求以传统仪器根本无法实现的时间分辨率进行实时气体监测。基于四极杆质谱的残气分析仪（RGA）按顺序扫描质谱，任何时刻只能
半导体设备制造展|2024上海国际半导体设备制造展览会「官网」
展会名称：2024中国（上海）国际半导体展览会英文名称：China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间：2024年11月18-20日 论坛时间：2024年11月18-19日 展会地点：上海新国际
武汉大学开发纳米孔测序法，较qPCR阳性率检测率提升43.8％
2019年底爆发新型冠状病毒性肺炎COVID-19疫情，全球已有许多感染和死亡病例，截止2020年3月1日，累计确诊超8万人，死亡近三千例，但仍存在许多临床疑似病例无法确诊。既往COVID-19诊断依赖于qPCR核酸检测，但是该方法显示出较高的假阴性率和低敏感性（阳性检出率仅为30％至50％），
这种调控实现半导体SERS基底性能提升和无机小分子检测
表面增强拉曼技术（Surface-enhanced Raman Spectroscopy，SERS）是无损、高灵敏、高特异性光谱技术，在反应监测、生物医学检测、环境监测等学科中颇具应用价值。近年来，半导体SERS基底的性能调控备受关注。然而，半导体SERS增强效果普遍较弱，难以应用于散射截面较小
半导体FAB厂－FAQ100问（二）
机台开关可以任意分／合吗？答：未经确认不可随意分／合任何机台开关，以免造成生产损失及人员伤害．欲从事生产／测试／维护时，如无法就近取得电源供给，也不能无限制使用延长线，对吗？答：对假设断路器启断容量为16安培导线线径2．5mm2，电源供应电压单相220伏特，若使用单相5000W电器设备会产生
提升老年人疫苗接种率－加强核酸检测机构监管
当前全国疫情总体呈较快发展态势，疫情波及面广，部分地方出现了疫情规模性反弹的风险。 在国务院联防联控机制29日举行的发布会上，国家疾控局卫生免疫司司长夏刚表示，老年人等脆弱人群，感染新冠病毒后容易发展成重症、危重症甚至死亡，接种新冠疫苗的获益是最大的。为进一步加快老年人接种，国务院联防联控机制
半导体集成电路的制造工艺
集成电路在大约5mm×5mm大小的硅片上，已集成了一台微型计算机的核心部分，包含有一万多个元件。集成电路典型制造过程见图1。从图1,可以看到，已在硅片上同时制造完成了一个N+PN晶体管,一个由 P型扩散区构成的电阻和一个由N+P结电容构成的电容器,并用金属铝条将它们连在一起。实际上,在一个常用的
ASMS－2026：布鲁克全新timsMRMS问世，timsOmni与timsUltra－AIP全面迭代，开启功能蛋白质组学2.0新时代
当地时间2026年6月，第74届美国质谱年会（ASMS 2026）在圣地亚哥顺利举办，这场行业盛会汇聚了全球前沿的质谱技术与科研成果。展会期间，布鲁克聚焦4D多组学与功能蛋白质组学2.0，集中展示多款全新硬件设备、迭代检测技术与智能分析方案。会议现场TOFWERK AG总裁兼布鲁克·道尔顿质谱创新团