SIMS(secondaryionmassspectroscopy)二次离子质谱图文
1.仪器介绍二次离子质谱（SIMS）是一种用于通过用聚焦的一次离子束溅射样品表面并收集和分析喷射的二次离子来分析固体表面和薄膜的组成的技术。SIMS是最灵敏的表面分析技术，元素检测限为百万分之几到十亿分之一。Schematic of a typical dynamic SIMS instrument. High energy (usually several keV) ions are supplied by an ion gun (1 or 2) and focused on to the target sample (3), which ionizes and sputters some atoms off the surface (4). These secondary ions are then collected by ion lenses (5) and filtered according to atomic ma......阅读全文
SIMS(secondary－ion－mass－spectroscopy)二次离子质谱图文
1.仪器介绍二次离子质谱（SIMS）是一种用于通过用聚焦的一次离子束溅射样品表面并收集和分析喷射的二次离子来分析固体表面和薄膜的组成的技术。SIMS是最灵敏的表面分析技术，元素检测限为百万分之几到十亿分之一。Schematic of a typical dynamic SIMS instrument
成分分析
成分分析按照分析对象和要求可以分为 微量样品分析 和 痕量成分分析 两种类型。 按照分析的目的不同，又分为体相元素成分分析、表面成分分析和微区成分分析等方法。体相元素成分分析是指体相元素组成及其杂质成分的分析，其方法包括原子吸收、原子发射ICP、质谱以及X射线荧光与X射线衍射分析方法；其中前三种分析
成分分析
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离子探针分析仪简介
离子探针分析仪，即离子探针（Ion Probe Analyzer，IPA），又称二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrum，SIMS），是利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表面，使之激发和溅射二次离子，经过加速和质谱分析，分析区域可
二次离子质谱仪简介
二次离子质谱（ Secondary Ion Mass Spectrometry ，SIMS）是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。[1] 在传统的SIMS实验中，高能一次
表面分析（二）
表面分析的主要内容表面科学研究的是表面和与表面有关的宏观和微观过程，从原子水平认识和说明表面原子的化学、几何排列、运动状态、电子态等性质及其与表面宏观性质的联系。表面分析的主要内容有：（1）表面化学组成：表面元素组成，表面元素的分布，表面元素的化学态，表面化学键，化学反应等；可用技术：XPS（X-
常用无机材料分析方法
Elemental Analysis 元素分析Atomic absorption spectroscopy 原子吸收光谱Auger electron spectroscopy (AES) 俄歇电子能谱Electron probe microanalysis (EPMA) 电子探针微分析Electro
二次离子质谱原理是什么？应用哪些方面？
二次离子质谱（ Secondary Ion Mass Spectrometry ，SIMS）是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。 在传统的SIMS实验中，高能一次离子束
二次离子质谱（SIMS）的原理特点和应用
二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。
二次离子质谱（SIMS）的原理特点和应用
二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。中文名 二次离子
质谱分析法术语二次离子质谱法
二次离子质谱法（ secondary ion mass spectrometry， SIMS）采用二次离子质谱仪进行质析的方法，该法依赖于所用不同二次离子质譜仪，可划分为四极杆二次离子质（quasSenary ion nmss spectrometr）、高分辩二次离子质谱仪（ high resolu
二次离子质谱仪（SIMS）
二次离子质谱仪（SIMS）分析方法介绍美信检测 失效分析实验室 1.简介 二次离子质谱仪（secondary ion mass spectroscopy，简称SIMS），是利用质谱法分析初级 离子入射靶面后，溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱仪分 析对象包括金属及合金、半导
硅中氧、碳的二次离子质谱(SIMS)分析
硅中氧、碳的二次离子质谱（SIMS）分析何友琴马农农王东雪（电子材料研究所 天津 300192）摘 要 本文采用相对灵敏度因子法，对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究。通过对样品进行预溅射的方法，氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm3、2.0e16atoms/cm3。关
飞行时间二次离子质谱（TOFSIMS）研究
一、二次离子峰位归属煤及烃源岩中的有机组分的二次离子谱非常复杂，再加上目前对SIMS裂分机理掌握不够，因此，对煤及源岩有机质的SIMS谱图解释存在很多问题。目前对TOF-SIMS常见碎片离子峰认识程度综合于表7-7。本节研究重点是根据对现有峰位的认识，建立与13CNMR,Mirco-FT·IR可以类
二次离子质谱仪的质谱原理
Secondary-ion-mass spectroscope （SIMS）是一种基于质谱的表面分析技术，二次离子质谱原理是基于一次离子与样品表面互相作用现象（基本原理如图1所示）。带有几千电子伏特能量的一次离子轰击样品表面，在轰击的区域引发一系列物理及化学过程，包括一次离子散射及表面原子、原子
飞行时间二次离子质谱法
飞行时间二次离子质谱法Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry :TOF-SIMS原理超真空环境下向样品射入1次离子束，从样品的浅表层（1~3nm）释放出2次离子。将2次离子导入飞行时间（TOF型）质谱仪，就可以获得样品最表层的质谱。此时，再通过调
不忘其志，先生千古——沉痛悼念查良镇教授
我国二次离子质谱(SIMS)的开拓者，国际著名的SIMS专家，清华大学教授，查良镇先生因病医治无效，于2022年12月24日2点18分在北京逝世，享年八十五岁。查良镇教授的逝世，不仅是中国SIMS界的损失，也是世界SIMS界的损失！查良镇教授是清华大学“千字号”毕业生，留校任教后成为清华大学表面物理
材料质谱分析
主要包括电感耦合等离子体质谱ICP-MS和飞行时间二次离子质谱法TOF-SIMS（1） 电感耦合等离子体质谱(inductively coupled plasma mass spectrometry, ICP-MS)ICP-MS是利用电感耦合等离子体作为离子源的一种元素质谱分析方法；该离子源
质谱分析
主要包括电感耦合等离子体质谱ICP-MS和飞行时间二次离子质谱法TOF-SIMS（1） 电感耦合等离子体质谱(inductively coupled plasma mass spectrometry, ICP-MS)ICP-MS是利用电感耦合等离子体作为离子源的一种元素质谱分析方法；该离子源产生的样
动态二次离子质谱分析（DSIMS）
动态二次离子质谱分析（D-SIMS）1. 飞行时间二次离子质谱技术二次离子质谱技术（Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry，D-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子的质量来测定元素种类，具有极
二次离子质谱概述
二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。 用一次离
二次离子质谱SIMS应用：从半导体材料到生命科学
在2012年以前，汪福意研究员一直带领团队通过有机质谱，如电喷雾电离质谱(ESI-MS)、基质辅助激光解析电离质谱(MALDI-MS)等进行药物相互作用组学研究、抗肿瘤药物的研究和开发等工作。一次与生物学家偶然的讨论给汪福意带来了启发，他萌生了使用高空间分辨率的二次离子质谱成像进行化
3D成像二次离子质谱技术的相关介绍
质谱成像技术能将基质辅助激光解吸电离质谱的离子扫描与图像重建技术结合，直接分析生物组织切片，产生任意质荷比(m/z)化合物的二维或三维分布图。其中三维成像图是由获得的质谱数据，通过质谱数据分析处理软件自动标峰，并生成该切片的全部峰值列表文件，然后成像软件读取峰值列表文件，给出每个质荷比在全部质谱
质谱应用沙龙：探索质谱极限助力生命健康研究
分析测试百科网讯 2018年3月30日，2018年度北京质谱年会在北京蟹岛会议中心召开。30日下午，举办了分会场学术沙龙，分别是：食品与环境，医药与生命科学，无机质谱技术及应用（ICP-MS沙龙暨第十七期原子光谱沙龙），质谱新技术/新方法。学术应用及产业界的专家都分享了各领域的新技术及新应用，与
二次离子质谱的原理组成和结构
二次离子质谱Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)1 引言:离子探针分析仪，即离子探针（Ion Probe Analyzer，IPA），又称二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrum，SIMS），是利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加
3D成像——二次离子质谱技术
质谱成像技术能将基质辅助激光解吸电离质谱的离子扫描与图像重建技术结合，直接分析生物组织切片，产生任意质荷比(m/z)化合物的二维或三维分布图。其中三维成像图是由获得的质谱数据，通过质谱数据分析处理软件自动标峰，并生成该切片的全部峰值列表文件，然后成像软件读取峰值列表文件，给出每个质荷比在全部质谱图中
为什么晶圆表面需要做金属元素分析？
硅片加工过程中会带来各种金属杂质沾污，进而导致后道器件的失效，轻金属(Na、Mg、Al、K、Ca等)会导致器件击穿电压降低，重金属(Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn等)会导致器件寿命降低。因此，硅片作为器件的原材料，其表面金属含量会直接影响器件的合格率。特定的污染问题可导致半导体器件不同的缺陷
二次离子质谱技术
海洋有机地球化学检测方法二次离子质谱技术简述 摘要：海洋有机地球化学是通过研究与还原性碳相关的物质来揭示海洋生态系的 结构、功能与演化的一门科学。由于其中的有机组分通常以痕量、复杂的混合物 形式存在，且是不同年龄、不同来源、不同反应历史生源物质的集成产物，所以 总体分析困难较大。目前主要是从整体水平
致敬！我们老一辈质谱科学家查良镇教授
我们老一辈质谱科学家、清华大学查良镇教授今天因病去世，享年85岁。他从事真空科学、质谱学研究超过六十年，是中国二次离子质谱学术会议的创办者。按他自己的说法，是中国第二代质谱人。早在1961年，查良镇就与沈阳教学仪器厂共同研制氦质谱探漏仪-“6104型质谱探漏仪”【图1】获得国家计划委员会、国家经济委
二次离子质谱的原理
二次离子质谱是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子，通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。它利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表