SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
1.1 仪器 法国CAMECA 公司的IMS-4fE/7 型二次离子质谱仪, 配备双等离子源和铯离子源, 中和电子枪。 1.2 样品 样品结构:SiO 采用CVD方法在抛光硅晶片 上生长的二氧化硅薄膜, 厚度在1000 埃至5000 埃之间, 样品处理: 为避免表面沾污对于测试结果的影响, 用去离子水对样品清洗,在105烘烤1h 以上。并在样品 表面溅射生长0.5nm 左右的金, 以增加样品的导电性。 1.3 实验方法 1.3.1 仪器测试条件 二次离子质谱仪实验条件的选择 对于测试的灵敏度、稳定性、深度分辨率等影响很大。调 节、设定各项参数达到测试要求。 真空度: 一次离子束 离子、能量:15keV, 度:300nA、束斑直径:30m,扫描面积:250m250m。 二次离子束: 正离子 23 Na 30Si 能量5000keV, 析圆形区域直径60m。检验检测 检测器: 电子倍增器: 检......阅读全文
SiO2－钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
1.1 仪器 法国CAMECA 公司的IMS-4fE/7 型二次离子质谱仪, 配备双等离子源和铯离子源, 中和电子枪。 1.2 样品 样品结构:SiO 采用CVD方法在抛光硅晶片 上生长的二氧化硅薄膜, 厚度在1000 埃至5000 埃之间, 样品处理: 为避免表面沾污对于测试结果的影响, 用去离子
SiO－2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
前 言 对于半导体器件而言，在管芯表面覆盖钝化膜的保护措施是非常必要的，钝化膜是器件的最终的钝化层和机械保护层，可以起到电极之间的绝缘作用，减弱和稳定半导体材料的多种表面效应，防止管芯受到尘埃、水汽酸气或金属颗粒的沾污，一般采用CVD 工艺（化学气相沉积，Chemical Vapor Dep
质谱分析法术语二次离子质谱法
二次离子质谱法（ secondary ion mass spectrometry， SIMS）采用二次离子质谱仪进行质析的方法，该法依赖于所用不同二次离子质譜仪，可划分为四极杆二次离子质（quasSenary ion nmss spectrometr）、高分辩二次离子质谱仪（ high resolu
动态二次离子质谱分析（DSIMS）
动态二次离子质谱分析（D-SIMS）1. 飞行时间二次离子质谱技术二次离子质谱技术（Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry，D-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子的质量来测定元素种类，具有极
二次离子质谱概述
二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。 用一次离
二次离子质谱技术
海洋有机地球化学检测方法二次离子质谱技术简述 摘要：海洋有机地球化学是通过研究与还原性碳相关的物质来揭示海洋生态系的 结构、功能与演化的一门科学。由于其中的有机组分通常以痕量、复杂的混合物 形式存在，且是不同年龄、不同来源、不同反应历史生源物质的集成产物，所以 总体分析困难较大。目前主要是从整体水平
二次离子质谱的特点
1.获得样品最表层1-3个原子信息深度信息； 2.可以检测同位素，用于同位素分析 ； 3.达到ppm~ ppb级的探测极限。 4. 可以并行探测所有元素和化合物，离子传输率可以达到100%。 5.采用高效的电子中和枪，可以精确的分析绝缘材料。 6. 具有很小的信息深度（小于1nm）；可
二次离子质谱的原理
二次离子质谱是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子，通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。它利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表
二次离子质谱的结构
近年来，二次离子质谱这一前沿的分析技术越来越多地被用在了科学研究当中，应用范围较为广泛。然而，依然有很多小白对二次离子质谱的基本结构不太了解。那么二次离子质谱的组成结构是怎样的呢？都有哪些功能和特点？今天小编就来简单盘点一下。 二次离子质谱主要由三部分组成：一次离子发射系统、质谱仪、二次
各种食品中钠离子的测定方案
方案优势 常用的直接测定钠离子的方法包括原子吸收光谱或 ICP。这些方法所需仪器成本高占地大，耗费试剂昂贵，并且样品制备和仪器校准周期较长。本方案采用一种全新简便的方法——温度滴定直接测定钠离子含量。在对普通的小食品如薄脆饼干、玉米条、番茄酱等实验后发现，结果准确（与手工滴定值相
硅中氧、碳的二次离子质谱(SIMS)分析
硅中氧、碳的二次离子质谱（SIMS）分析何友琴马农农王东雪（电子材料研究所 天津 300192）摘 要 本文采用相对灵敏度因子法，对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究。通过对样品进行预溅射的方法，氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm3、2.0e16atoms/cm3。关
二次离子质谱仪的质谱原理
Secondary-ion-mass spectroscope （SIMS）是一种基于质谱的表面分析技术，二次离子质谱原理是基于一次离子与样品表面互相作用现象（基本原理如图1所示）。带有几千电子伏特能量的一次离子轰击样品表面，在轰击的区域引发一系列物理及化学过程，包括一次离子散射及表面原子、原子
钠离子电池的概念
钠离子电池（Sodium-ion battery），是一种二次电池（充电电池），主要依靠钠离子在正极和负极之间移动来工作，与锂离子电池工作原理相似。
钠离子电池的特性
钠离子电池的特性直接决定了钠离子电池未来的应用场景。钠离子电池跟当前电动汽车行业普遍使用的铅酸电池和锂离子电池的特性差异大致可以总结为几点： (1）能量密度方面：铅酸电池＜钠离子电池＜锂离子电池（2）安全性高，高低温性能优异（3）快充倍率高，有补能优势
质谱分析法中怎样判断分子离子峰
第十章质谱分析法一、教学基本要求掌握质谱分析的基本原理，化合物裂解的一般规律，分子离子峰的特征及判定方法，质谱图的解析方法。能在质谱图中识别出分子离子峰、基峰、碎片离子峰。了解质谱仪的主要组成部分及功能。二、基本概念与重点内容1．质谱法原理、特点与作用2.质谱仪的工作过程和原理3.质谱图中离子峰的类
质谱分析法中怎样判断分子离子峰
第十章质谱分析法一、教学基本要求掌握质谱分析的基本原理，化合物裂解的一般规律，分子离子峰的特征及判定方法，质谱图的解析方法。能在质谱图中识别出分子离子峰、基峰、碎片离子峰。了解质谱仪的主要组成部分及功能。二、基本概念与重点内容1．质谱法原理、特点与作用2.质谱仪的工作过程和原理3.质谱图中离子峰的类
质谱分析法中怎样判断分子离子峰
第十章质谱分析法一、教学基本要求掌握质谱分析的基本原理，化合物裂解的一般规律，分子离子峰的特征及判定方法，质谱图的解析方法。能在质谱图中识别出分子离子峰、基峰、碎片离子峰。了解质谱仪的主要组成部分及功能。二、基本概念与重点内容1．质谱法原理、特点与作用2.质谱仪的工作过程和原理3.质谱图中离子峰的类
科研人员在原子尺度揭示海洋环境中氯离子诱发铜钝化膜破裂关键机制
铜凭借优异的导热导电性，在工业与海洋工程领域得到广泛应用。通常，铜表面在碱性环境中可形成以氧化亚铜为主的钝化保护膜，来有效抑制腐蚀。然而，在富含氯离子的海洋环境中，该保护膜极易破坏脱落，继而导致材料失效。此前，有研究提出应力诱导断裂、局部溶解变薄、孔洞诱导坍塌等多种失效机制，但学界对氯离子如何在原子
质谱分析法术语稳定离子
稳定离子（stable ion）指在离子源生成的，离开离子源后直至到达检测器不发生裂解的离子。通常指寿命比10-5s长的离子。
质谱分析法术语负离子
负离子（negative ions）带负电荷的离子，产生于质谱仪的负离子源。
金属钝化膜击破机制研究取得进展
中国科学院金属研究所固体原子像研究部研究员马秀良、副研究员张波和博士王静等人组成的介质条件下材料电子显微学研究小组在原子尺度下直接获得金属表面超薄钝化膜的剖面显微图像，并揭示了氯离子击破钝化膜的作用机制。7月2日，英国《自然-通讯》(Nature Communications)在线发表了该项研究
钠离子电池是什么电池？钠离子电池的工作原理和优势
钠离子电池（Sodium-ion battery），是一种二次电池（充电电池），主要依靠钠离子在正极和负极之间移动来工作，与锂离子电池工作原理相似。钠离子电池的工作原理钠离子电池在充放电过程中，Na+在两个电极之间往返嵌入和脱出：充电时，Na+从正极脱嵌，经过电解质嵌入负极；放电时则相反。新款186
钠离子电池是什么电池？钠离子电池的工作原理和优势
钠离子电池（Sodium-ion battery），是一种二次电池（充电电池），主要依靠钠离子在正极和负极之间移动来工作，与锂离子电池工作原理相似。钠离子电池的工作原理钠离子电池在充放电过程中，Na+在两个电极之间往返嵌入和脱出：充电时，Na+从正极脱嵌，经过电解质嵌入负极；放电时则相反。新款186
二次离子质谱技术的分析和应用
二次离子质谱是一种具有超高分辨率和灵敏度的固体表面分析技术。它可以分析氢元素到铀元素在内的所有元素和同位素，还可以得到固体表面官能团和分子结构等信息。SIMS可以分为静态SIMS（SSIMS）和动态SIMS（DSIMS）两种类型，通过不同扫描类型，得到二次离子质谱图、化学成像、动态深度剖析曲线等
二次离子质谱的原理组成和结构
二次离子质谱Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)1 引言:离子探针分析仪，即离子探针（Ion Probe Analyzer，IPA），又称二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrum，SIMS），是利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加
Thermo－Scientific－钠离子计在电厂中的应用
钠离子测量在电厂中的意义 水蒸汽通过测定钠离子Na+含量，可以反映出蒸汽中含盐量。在电厂中为了避免和减少过热器管与汽轮机内沉积盐垢，保证热力设备的安全经济运行，对蒸汽质量的要求是非常严格的。通过钠离子分析仪测定蒸汽的微量钠含量，可以起到监督和防止在过热器、汽轮机叶片上积盐的作用。 在电厂除盐水的
飞行时间二次离子质谱共享
仪器名称：飞行时间二次离子质谱仪器编号：13027664产地：德国生产厂家：ION-TOF GmbH型号：TOF.SIMS 5出厂日期：2012.5购置日期：201312所属单位：化学系>分析中心>北京电子能谱中心放置地点：理科楼D-104固定电话：固定手机：固定email：联系人：郭冲（010-6
电镀锡薄钢板氧化膜和钝化膜的分析检测方法
介绍了电镀锡薄钢板氧化膜和钝化膜的分析检测方法,包括传统的化学分析方法、电化学分析方法和现代表面分析技术,如X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱(AES)、辉光放电光谱(GDS)以及电子探针微区分析(EPMA)等。
质谱分析技术的离子源的介绍
在早期的质谱研究中，涉及的样品一般为无机物，检测目的包括测定原子量、 同位素丰度、确定元素组成等。针对这些要求，需要采用的离子源主要包括电感耦合等离子体（ICP）、微波等离子体炬（MPT）和其他微波诱导等离子体（MIP）、电弧、火花、辉光放电等，几乎能够用于原子发射光谱的激发源都可用。 质谱的
质谱分析中内标物的作用
就是为了消除进样误差