TRION化学气相沉积系统共享应用

仪器名称:化学气相沉积系统仪器编号:13003987产地:美国生产厂家:TRION型号:PHANTOMIII出厂日期:201205购置日期:201303所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn)分类标签:集成电路 微纳加工 半导体工艺 PECVD技术指标:等离子增强型化学气相淀积;工艺温度100~400℃知名用户:吴华强 微电子所;许军 微电子所;陈炜 微电子所;钱鹤 微电子所;刘泽文 微电子所;岳瑞峰 微电子所; 王喆垚 微电子所;蔡坚 微电子所;邓宁 微电子所;伍晓明 微电子所; 张志勇 北京大学技术团队:张忠会 田震 韩冰 窦维治功能特色:此设备在100~400℃下淀积SiOx、SiNx、SiO......阅读全文

气相沉积是什么意思

其含义是气相中化学反应的固体产物沉积到表面。CVD装置由下列部件组成;反应物供应系统,气相反应器,气流传送系统。反应物多为金属氯化物,先被加热到一定温度,达到足够高的蒸汽压,用载气(一般为Ar或H2)送入反应器。如果某种金属不能形成高压氯化物蒸汽,就代之以有机金属化合物。在反应器内,被涂材料或用金属

解释一下化学气相沉积法制备纳米材料

化学气相沉积可以分为有基底沉积和无基底沉积。有基底沉积又分为催化沉积和无催化沉积;催化沉积往往用于区域选择性沉积或特定形貌纳米材料的沉积;无催化沉积常用于制作各种膜材料;无基底沉积往往利用气相分解,可以得到各种纳米粉体,使用相对较少。

系统测试nikon共享应用

仪器名称:系统测试nikon仪器编号:A15000007产地:生产厂家:型号:出厂日期:购置日期:所属单位:医研院>生物医学测试中心>尼康影像中心放置地点:医学科学楼C153固定电话:固定手机:固定email:联系人:曹慧珍(010-62798727,15210512148,caohuizhen@m

原子层沉积系统(ALD)的应用

  原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型(厚度、成份和结构)  原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD),最初称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),也称为原子层化学气相沉积(Atomic Layer Chemical Vapor Depo

EVG高级显影系统共享应用

仪器名称:高级显影系统仪器编号:04001249产地:奥地利生产厂家:EVG型号:EVG101D出厂日期:200303购置日期:200403所属单位:物理系>纳米中心>纳米中心加工平台放置地点:纳米楼超净间固定电话:固定手机:固定email:联系人:安东(010-62796021,187016473

金属有机化学气相沉积法生长AlN/Si结构界面的研究

采用金属有机化学气相沉积法在Si(111)衬底上生长了AlN外延层。高分辨透射电子显微镜显示在AlN/Si界面处存在非晶层,俄歇电子能谱测试表明Si有很强的扩散,拉曼光谱测试表明存在Si-N键,另外光电子能谱分析表明非晶层中存在Si3N4。研究认为MOCVD高温生长造成Si的大量扩散是非晶层存在的主

化学气相沉积金刚石探测器测量软X射线能谱

金刚石具备高热导率、高电阻率、高击穿电场、大的禁带宽度、介电系数小、载流子迁移率高以及抗辐射能力强等特性,可作为已应用于惯性约束聚变(ICF)实验X射线测量的硅与X射线二极管的较好替代品.随着化学气相沉积(CVD)技术的发展,CVD金刚石受到人们越来越多的关注.文中利用拉曼谱仪和X射线衍射仪对1mm

金属有机化学气相沉积法生长AlN/Si结构界面的研究

用金属有机化学气相沉积法在Si(111)衬底上生长了AlN外延层。高分辨透射电子显微镜显示在AlN/Si界面处存在非晶层,俄歇电子能谱测试表明Si有很强的扩散,拉曼光谱测试表明存在Si-N键,另外光电子能谱分析表明非晶层中存在Si3N4。研究认为MOCVD高温生长造成Si的大量扩散是非晶层存在的主要

离子体化学气相沉积技术构筑金刚石石墨材料研究方面获进展

共价金刚石-石墨材料集合了金刚石和石墨的性质优势,能够实现超硬、极韧、导电等优越性能组合,在超硬和电子器件领域具有研究和发展价值。目前,由于金刚石-石墨共价界面能高,主要通过高温高压方法活化碳原子以实现该材料的构筑。等离子体化学气相沉积(CVD)是金刚石面向功能应用的主要发展方向。借助CVD技术构筑

什么是气相化学

气相化学还原是近年来开发成功用于替代高温焚烧的新型销毁技术,适用于包括POPs在内的多种危险废物。利用GPCR技术来销毁POPs是在超过850℃高温和常压条件下进行的,通过使用氢气对气化的有机化合物进行化学还原,生成小分子甲烷和其他烷烃,以及氯化氢酸性气体;生成的气体在进行冷却时,投加苛性钠以中和H

全自动磁控溅射系统共享应用

仪器名称:全自动磁控溅射系统仪器编号:12024341产地:中国生产厂家:金盛微纳科技有限公司型号:MSP-150B出厂日期:201112购置日期:201211所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:刘建设(,,zh

DHISTECH玻片扫描系统Pannoramic-SCAN共享应用

仪器名称:3DHISTECH玻片扫描系统Pannoramic SCAN仪器编号:22009068产地:匈牙利生产厂家:3DHISTECH型号:Pannoramic Scan出厂日期:购置日期:2022-06-09所属单位:医研院>生物医学测试中心>细胞生物学平台>细胞平台电镜机组放置地点:医学科学楼

气相色谱在物理化学研究中应用

气相色谱在物理化学研究中应用1.比表面和吸附性能研究;2.溶液热力学研究;3.蒸气压的测定;4.络合常数测定;5.反应动力学研究;6.维里系数测定。

基于简单的支架的多片4HSiC化学气相沉积同质外延生长

虽然在商用化学气相沉积设备中可以在一次运行中实现多片4H-SiC衬底的同质外延生长,但是必须将晶片装载到可旋转的大型基座上,这导致基座的直径随着数量或者外延晶片总面积的增加而增加。在这项工作中,我们展示了一种简便的方法,通过自制的常规单晶片化学气相沉积设备,在没有大型基座的情况下,在简单的支架上放置

气相色谱载气系统的选择

气相色谱仪运行的基本条件之一就是必须有合乎检测需要的载气。载气的作用就是作为载体,完成输送样气进行分离及检测的全部气路过程。因此,载气的选择关系到测定结果和效果。 (1)载气不同,则被测气体的分离状况及检测灵敏度有很大不同。 (2)载气质量(含杂质的情况)会影响到分离状况,甚至干扰成分

气相色谱中温控系统

温控系统的作用 :温度是色谱分离条件的重要选择参数;:气化室、色谱柱恒温箱、检测器三部分在色谱仪操作时均需控制温度;气化室:保证液体试样瞬间气化;检测器:保证被分离后的组分通过时不在此冷凝;色谱柱恒温箱:准确控制分离需要的温度。

气相色谱检测系统简介

气相色谱的检测系统主要由检测器、放大器和记录器等部件组成。气相色谱检测器的性能要求:通用性强或专用性好;响应范围宽,可用于常量和痕量分析;稳定性好,噪音低;死体积小,响应快;线性范围宽,便于定量;操作简便耐用。气相色谱检测器按其检测特性分类可分为浓度型检测器和质量型检测器。气相色谱常用的检测器分述如

固相微萃取_气相色谱_质谱联用系统的建立与应用

热重_差热分析_固相微萃取_气相色谱_质谱联用系统的建立与应用摘要根据非平衡态固相微萃取理论,建立了热重/差热分析-固相微萃取-气相色谱-质谱联用系统,并按照划分温度段取样的方法,将其应用于原儿茶醛热解行为的研究,以验证联用系统的可靠性和分析方法的可行性。采用此系统,在10 ℃ /min 升温速率、

多靶位磁控溅射系统共享应用

仪器名称:多靶位磁控溅射系统仪器编号:21012328产地:美国生产厂家:科特·莱斯科公司型号:PVD75出厂日期:购置日期:2021-07-12所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:62781090固定手机:13661079620固定email:

非甲烷总烃气相色谱系统的应用介绍

 总烃/非甲烷总烃/专业化的气相色谱系统,可用于各种高低浓度气体样品相关检测项目,双氢焰检测器/三进样口/双管定体积进样阀进样的设计,可以一次进样完成气体样品中总烃、甲烷及非甲烷总烃含量测定,比标准拆柱法的分析速度提高4-5倍,采用的双定量装置大限度的减少人为操作误差.同时具备定标系统和同时活化功能

反相气相色谱在聚合物-溶剂系统的应用

填充柱,无限稀释反相气相色谱(IGC)气相色谱柱的标准应用是用特定的固定相去分离,然后分析流动相的组成。在IGC地方法中,固定相和流动相的组成是已知的。两相之间的相互关系由此分析测定。IGC主要用来测量无限稀释条件下流动相和固定相之间的均衡分配系数。这种功能可以用惰性担体包涂高聚物构成的填充柱完成。

气相色谱的应用

只要在气相色谱仪允许的条件下可以气化而不分解的物质,都可以用气相色谱法测定。对部分热不稳定物质,或难以气化的物质,通过化学衍生化的方法,仍可用气相色谱法分析。在石油化工、医药卫生、环境监测、生物化学、食品检测等领域都得到了广泛的应用。1.在卫生检验中的应用空气、水中污染物如挥发性有机物、多环芳烃,苯

气相色谱仪的载气系统

  包括气源、气体净化、气体流速控制和测量。  气相色谱的气源按照用途可以分为四类:载气、燃气、助燃气、驱动气。  ①载气:个分析系统,要求纯度高、质量好,一般来说常用的载气有:氮气、氢气、氩气、氦气等。  ②燃气:一般用氢气,只要保证可以正常点火,并且不干扰分析就可以了。可以使用高纯度的钢瓶气或氢

气相色谱仪的气路系统

 气路系统气路系统包括气源、净化干燥管和载气流速控制及气体化装置,是一个载气连续运行的密闭管路系统。通过该系统可以获得纯净的、流速稳定的载气。它的气密性、流量测量的准确性及载气流速的稳定性,都是影响气相色谱仪性能的重要因素。气相色谱中常用的载气有氢气、氮气、氩气,纯度要求99% 以上,化学惰性好,不

气相色谱仪载气系统详解

载气系统的主要零部件有:减压阀、净化器、稳压阀、稳流阀、流量计、压力表等。这些零部件除减压阀和净化器外,其他一般都组装在色谱仪器的主机中。1、减压阀气相色谱仪减压阀的作用是把钢瓶流出的高压气体减低到所需的压力,不论钢瓶内的气体压力高低、或减压后气体流速是否发生变化,减压阀均能使经减压后流出的气体压力

气相色谱仪在分离分析、化学研究中的应用

气相色谱法是一种高分离效能、高选择性、高灵敏度和快速的分析方法。它广泛应用于分离分析气体和易挥发或可转化为易挥发的液体和固体。对于那些不易挥发和易分解的物质,可采用化学转化法使其转化为易挥发和稳定的衍生物后,再进行分析。 近年来,随着毛细管色谱、裂解气相色谱

通过氯化氢化学气相沉积法对厚4HSiC薄膜同质外延生长...

通过氯化氢化学气相沉积法对厚4H-SiC薄膜同质外延生长的工艺优化 通过氯化氢化学气相沉积法对厚4H-SiC薄膜同质外延生长的工艺优化本篇文章中提出了一种通过氯化氢化学气相沉积(HCVD)在4°切割基板上快速同质外延生长厚的4H-SiC薄膜的工艺优化方法。所使用的气体是HCl与SiH4,C2H

气相色谱——校验系统的选择

在使用气体成分分析仪器做定量分析时,必须使用标准气进行校准。同时,在分析仪器定期(如一年)检定时,也需要使用标准气体校验及检定。 通常所使用的标准气按配制方法分有两大类:静态配气法和动态配气法。 (1)静态配气法 静态配气法是用一固定容器,如医用注射器、玻璃容器、塑料袋及高压气瓶等

气相色谱系统的组成

 气相色谱系统的组成  1、气相色谱工作站(联机与脱机);  2、气相色谱由主机、柱温箱、进样口气化室、检测器等组成;  3、色谱柱:常用的色谱柱为气相填充色谱柱与气相毛细管色谱柱,尤其是气相毛细管色谱柱最为常用;  4、进样部分:直接进样(自动进样器:样品槽、进样针)、顶空进样(顶空进样器:带有加