清华大学仪器共享平台科特·莱斯科多靶位磁控溅射系统
仪器名称：多靶位磁控溅射系统仪器编号：21012328产地：美国生产厂家：科特·莱斯科公司型号：PVD75出厂日期：购置日期：2021-07-12所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：62781090固定手机：13661079620固定email：douwz@tsinghua.edu.cn联系人：窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）分类标签：微纳加工 半导体工艺 磁控溅射 材料制备技术指标：工艺腔配备冷泵，本底真空：10e-8 torr；成膜均匀性<3%；同时装载5个靶位；全自动传送片系统知名用户：钱鹤教授，吴华强教授，陈炜教授，刘泽文教授。技术团队：窦维治、韩冰、魏治乾功能特色：该设备的特点如下：本底真空可达到10E-8Torr量级；基片温度可以控制在室温~800℃；可实现6英寸及以下尺寸的硅......阅读全文
清华大学仪器共享平台科特·莱斯科－多靶位磁控溅射系统
仪器名称：多靶位磁控溅射系统仪器编号：21012328产地：美国生产厂家：科特·莱斯科公司型号：PVD75出厂日期：购置日期：2021-07-12所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：62781090固定手机：13661079620固定email：
多靶位磁控溅射系统共享应用
仪器名称：多靶位磁控溅射系统仪器编号：21012328产地：美国生产厂家：科特·莱斯科公司型号：PVD75出厂日期：购置日期：2021-07-12所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：62781090固定手机：13661079620固定email：
清华大学仪器共享平台磁控溅射镀膜机
仪器名称：磁控溅射镀膜机仪器编号：13001328产地：中国生产厂家：创世威纳科技公司型号：MSP-3200T出厂日期：201301购置日期：201301所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：一楼平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：魏治乾（010-62781090,19
清华大学仪器共享平台中联科利－清洗机
仪器名称：清洗机仪器编号：11023084产地：中国生产厂家：中联科利型号：CUC-XS004A-05-10-M-A出厂日期：200612购置日期：201111所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>清洗/湿法工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：宗莉（01
清华大学仪器共享平台金盛微纳－全自动磁控溅射系统
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
清华大学仪器共享平台爱发科－灯加热退火炉
仪器名称：灯加热退火炉仪器编号：21006364产地：日本生产厂家：爱发科真空设备（上海）有限公司型号：MILA-5000-P-N出厂日期：购置日期：2021-04-06所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固
清华大学仪器共享平台nikon－系统测试
仪器名称：系统测试nikon仪器编号：A15000007产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：医研院>生物医学测试中心>尼康影像中心放置地点：医学科学楼C153固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹慧珍（010-62798727,15210512148,caohuizhen@m
金属多靶磁控溅射机
金属多靶磁控溅射机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2014年1月1日启用。 1）真空系统：复合分子泵+直联旋片无油机械泵抽真空系统；真空极限：优于5.0×10E-5Pa ；抽速：从大气开始抽气，溅射室25分钟可达到10E-4Pa；系统漏率≤ 5×10-7PaL/s，系统停泵关机1
清华大学仪器共享平台Ultratech－原子层沉积系统
仪器名称：原子层沉积系统仪器编号：17016605产地：美国生产厂家：Ultratech型号：Savannah S100出厂日期：购置日期：2017-06-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：haosun@ts
清华大学仪器共享平台泰斯肯－高分辨高灵敏度表面分析系统
仪器名称：高分辨高灵敏度表面分析系统仪器编号：22000545产地：捷克生产厂家：泰斯肯型号：S9000X出厂日期：购置日期：2021-12-30所属单位：材料学院>材料中心 >逸夫楼部分>高分辨高灵敏度表面分析分室放置地点：逸夫技术科学楼A136固定电话：62797277固定手机：固定email：
清华大学仪器共享平台TRION－化学气相沉积系统
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
清华大学仪器共享平台Gatan－直读式特殊成像系统
仪器名称：直读式特殊成像系统仪器编号：15005988产地：美国生产厂家：Gatan型号：K2出厂日期：2013.9购置日期：201504所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>冷冻电镜平台>设施蛋白质冷冻电镜平台放置地点：生物新馆129固定电话：固定手机：固定email：联系人：分类标签：电子显微
清华大学仪器共享平台四川景恒－CVD系统
仪器名称：CVD系统仪器编号：21000218产地：中国生产厂家：四川景恒科技有限公司型号：Lindberg/Blue M出厂日期：购置日期：2021-01-13所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定ema
清华大学仪器共享平台安捷伦－Cytation－10图像处理系统
仪器名称：Cytation 10图像处理系统仪器编号：A23000114产地：美国生产厂家：安捷伦公司型号：Cytation 10出厂日期：20231027购置日期：20231027所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>细胞影像 平台放置地点：生物医学馆U6 098固定电话：0106
清华大学仪器共享平台LMD7000－激光显微切割系统
仪器名称：激光显微切割系统 LMD7000仪器编号：14017291产地：德国生产厂家：Leica型号：LMD7000出厂日期：201308购置日期：201409所属单位：生命学院>蛋白质研究技术中心>细胞影像平台>设施细胞影像平台放置地点：清华大学生物医学馆U6-116固定电话：固定手机：固定em
清华大学仪器共享平台Kurt－LAB18薄膜沉积系统
仪器名称：LAB18薄膜沉积系统仪器编号：12028282产地：中国生产厂家：Kurt型号：KJLC出厂日期：201204购置日期：201212所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-62781090
超高真空多靶磁控溅射镀膜仪
超高真空多靶磁控溅射镀膜仪是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器，于2010年2月21日启用。 技术指标 双室磁控溅射系统，极限压力：主溅射室，6.67*10-6Pa，2、永磁靶5套，三个直流电源，两个射频电源，靶材直径60mm；3、6个样品工位，尺寸直径30mm，基片加热最高600度，退火
清华大学仪器共享平台管式炉
仪器名称：管式炉仪器编号：21002920产地：中国生产厂家：易安科仪（北京）国际贸易有限公司型号：TF55035C0MC出厂日期：购置日期：2021-03-02所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定ema
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪仪器编号：A14000002产地：生产厂家：型号：出厂日期：购置日期：所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：清华大学化工系工物馆305固定电话：固定手机：固定email：联系人：姜海容（010-62796284,15120075839,hrjiang@tsin
清华大学仪器共享平台物理吸附仪
仪器名称：物理吸附仪（两站）仪器编号：15012504产地：美国生产厂家：美国康塔仪器型号：Autosorb-iQ2-C出厂日期：201109购置日期：201507所属单位：化工系>化工系测试平台>反应工程实验室放置地点：化学工程实验楼固定电话：固定手机：固定email：联系人：马鸣宇（010-11
清华大学仪器共享平台日本爱斯佩克－小型环境试验箱
仪器名称：小型环境试验箱仪器编号：11015033产地：日本生产厂家：日本爱斯佩克株式会社型号：SU-661出厂日期：201105购置日期：201107所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所平房固定电话：固定手机：固定email：联系人：马海艳（010-66668888,1
清华大学仪器共享平台奥林巴斯SpinSR转盘共聚焦显微成像系统
仪器名称：奥林巴斯SpinSR转盘共聚焦显微成像系统仪器编号：21019132产地：日本生产厂家：奥林巴斯型号：SpinSR出厂日期：购置日期：2021-09-08所属单位：生命学院>清华-IDG/麦戈文脑科学共享仪器开放实验室放置地点：生物医学馆U6039固定电话：010-62798607固定手机
清华大学仪器共享平台头戴式小鼠活体钙成像系统
仪器名称：头戴式小鼠活体钙成像系统仪器编号：A23000163产地：美国生产厂家：Inscopix型号：nVue出厂日期：20230212购置日期：20221230所属单位：药学院>药学技术中心>神经药理平台放置地点：固定电话：固定手机：固定email：联系人：分类标签：微型显微镜 小动物钙成像 活
清华大学仪器共享平台Gatan－离子束镀膜刻蚀系统
仪器名称：离子束镀膜刻蚀系统仪器编号：14012804产地：美国生产厂家：Gatan型号：682出厂日期：201308购置日期：201407样品要求：尺寸要求：最大尺寸直径32mm、高度10mm样品其他要求：真空下不能有挥发物。所属单位：材料学院>材料中心 >电镜中心放置地点：主楼11-127固定电
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台反应离子蚀刻机
仪器名称：反应离子蚀刻机仪器编号：85427700产地：瑞典生产厂家：瑞典型号：PTL 520/520出厂日期：198509购置日期：198509所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：李希有（010-6278404
清华大学仪器共享平台低温纳米倾角台
仪器名称：低温纳米倾角台仪器编号：21000293产地：德国生产厂家：attocube systems AG型号：ANC350出厂日期：购置日期：2021-01-13样品要求：样品要求:与平台测试人员联系具体细节预约说明：测试所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定
清华大学仪器共享平台THERMO－管式马弗炉
仪器名称：管式马弗炉仪器编号：16042569产地：中国生产厂家：THERMO型号：TF55035C-1出厂日期：购置日期：2016-12-25所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：15910619833固定email：haosun
清华大学仪器共享平台JEOL－扫描电镜
仪器名称：扫描电镜仪器编号：02012309产地：日本生产厂家：日本电子公司型号：JSM-6460LV出厂日期：200208购置日期：200210所属单位：材料学院>先进材料薄膜材料实验室放置地点：逸夫技科楼1134室固定电话：固定手机：固定email：联系人：曾飞（010-62795373,186
清华大学仪器共享平台SUSS－光刻机
仪器名称：光刻机仪器编号：20004477产地：中国生产厂家：SUSS Micro Tec Lithography Gmb型号：MJB4出厂日期：购置日期：2020-06-09所属单位：电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点：罗姆楼B1-304室固定电话：62796594固定手机：固定email：h