微电子所与移动硅谷达成集成电路产业化服务平台合作
12月2日，全球传感器与智能化发展高峰论坛在北京亦庄丰大国际大酒店开幕。此次会议由中国科学院微电子研究所、中国电子科技集团公司主办，中科院物联网研究发展中心承办，北京亦庄国际投资发展有限公司、中国物联网产业联盟、移动硅谷物联网产业联盟、新华网融媒体未来研究院等单位协办。 论坛以“高峰论坛+展览展示+投资洽谈”为形式，吸引政府主管部门、国内外知名传感器、物联网应用厂商、系统整机企业、科研机构、投资机构等逾1300余家企事业单位参会，邀请行业嘉宾共同探讨当前智能传感器发展现状，剖析传感器技术发展的技术瓶颈。 微电子所所长、中科院物联网研究发展中心主任、国家科技重大专项总体专家组组长叶甜春出席会议并作了开幕致辞，提出当前时代正步入“感知”时代，传感器等非数字芯片需求将呈现爆发式增长。全球智能传感器产业正进入历史性的重大调整变革期，技术演进和市场增长点改变，将带动传感器产业链格局和产业生态的重大变革和调整。 北京经济技术开发区......阅读全文
微电子所与移动硅谷达成集成电路产业化服务平台合作
12月2日，全球传感器与智能化发展高峰论坛在北京亦庄丰大国际大酒店开幕。此次会议由中国科学院微电子研究所、中国电子科技集团公司主办，中科院物联网研究发展中心承办，北京亦庄国际投资发展有限公司、中国物联网产业联盟、移动硅谷物联网产业联盟、新华网融媒体未来研究院等单位协办。 论坛以“高峰论坛+展览
化学气相沉积系统共享
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
快速退火炉共享
仪器名称：快速退火炉仪器编号：04011389产地：中国生产厂家：北京东之星应用物理所型号：RTP400出厂日期：200410购置日期：200411所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-627840
集成电路制造展会|2024上海传感器件展览会「上海集成电路展」
展会概况展会名称：2024中国（上海）集成电路产业与应用博览会展会时间：2024年11月18-20日 论坛时间：2024年11月18日-19日展会地点：上海新国际博览中心展会规模：50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众 中国集成电路将顺势而为，逆势崛起 “十四五”期间，我国半导体
TRION化学气相沉积系统共享应用
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
THERMCO－氧化LPCVD
仪器名称：THERMCO 氧化LPCVD仪器编号：21014796产地：英国生产厂家：THERMCO型号：2660出厂日期：购置日期：2021-07-21所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：苏鑫（010-6278
清华大学仪器共享平台TRION－化学气相沉积系统
仪器名称：化学气相沉积系统仪器编号：13003987产地：美国生产厂家：TRION型号：PHANTOMIII出厂日期：201205购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
北京东之星快速退火炉共享应用
仪器名称：快速退火炉仪器编号：04011389产地：中国生产厂家：北京东之星应用物理所型号：RTP400出厂日期：200410购置日期：200411所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-627840
东之星快速退火炉共享应用
仪器名称：快速退火炉仪器编号：04011389产地：中国生产厂家：北京东之星应用物理所型号：RTP400出厂日期：200410购置日期：200411所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-627840
合金炉共享
仪器名称：合金炉仪器编号：11013950产地：美国生产厂家：THERMCO型号：MB-81出厂日期：200406购置日期：201107所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：新所一楼工艺平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-62784044,1391080
THERMCO合金炉共享应用
仪器名称：合金炉仪器编号：11013950产地：美国生产厂家：THERMCO型号：MB-81出厂日期：200406购置日期：201107所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：新所一楼工艺平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-62784044,1391080
THERMCO合金炉共享
仪器名称：合金炉仪器编号：11013950产地：美国生产厂家：THERMCO型号：MB-81出厂日期：200406购置日期：201107所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：新所一楼工艺平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹秉军（010-62784044,1391080
微电子所在纳米森林的微器件应用研究中获进展
原文地址：http://www.cas.cn/syky/202103/t20210316_4781092.shtml 近日，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在纳米森林的微机电系统（MEMS）传感器应用研究上取得重要进展。 湿度的监测与控制在气象、农业、汽车、医药等行业具有重
佳能PLA500光刻机共享应用
仪器名称：佳能光刻机仪器编号：80424600产地：日本生产厂家：日本型号：PLA-500出厂日期：198004购置日期：198004所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-62781090,1
佳能光刻机共享应用
仪器名称：佳能光刻机仪器编号：80424600产地：日本生产厂家：日本型号：PLA-500出厂日期：198004购置日期：198004所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-62781090,1
佳能光刻机共享
仪器名称：佳能光刻机仪器编号：80424600产地：日本生产厂家：日本型号：PLA-500出厂日期：198004购置日期：198004所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-62781090,1
KEYENCE－数字显微镜共享应用
仪器名称：数字显微镜仪器编号：03005189产地：日本生产厂家：KEYENCE公司型号：KEYENCE出厂日期：200304购置日期：200306所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点：微电子所一层微纳平台测试间固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
金相显微镜共享
仪器名称：金相显微镜仪器编号：11001102产地：日本生产厂家：奥林巴斯型号：MX51出厂日期：201009购置日期：201101所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点：微电子所新所一层测试间固定电话：固定手机：固定email：联系人：包艳琳（010-62784044,13020
THERMCO－氧化LPCVD共享应用
仪器名称：THERMCO 氧化LPCVD仪器编号：21014796产地：英国生产厂家：THERMCO型号：2660出厂日期：购置日期：2021-07-21所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：苏鑫（010-6278
全自动磁控溅射系统共享应用
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
PICOSUN－原子层沉积系统共享
仪器名称：PICOSUN 原子层沉积系统仪器编号：16041497产地：中国生产厂家：PICOSUN型号：R200 Advanced出厂日期：201709购置日期：201612所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一楼109固定电话：固定手机：固定email：联系人：曹
清华大学仪器共享平台奥林巴斯－金相显微镜
仪器名称：金相显微镜仪器编号：11001102产地：日本生产厂家：奥林巴斯型号：MX51出厂日期：201009购置日期：201101所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点：微电子所新所一层测试间固定电话：固定手机：固定email：联系人：包艳琳（010-62784044,13020
MA6双面光刻机共享
仪器名称：MA6双面光刻机仪器编号：00011041产地：德国生产厂家：Karl Suss型号：MA6出厂日期：199907购置日期：200010所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>光刻工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台光刻间固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（010-6278
微电子所在“热电堆传感器配套芯片”项目中取得成果
由中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心(十室)牵头，专用集成电路与系统研究室(二室)混合信号模拟IP团队承担的“热电堆传感器配套芯片”课题，近日完成热电堆模拟前端及高精度温度传感器芯片测试。测试结果显示，芯片在功能和性能上均达到较高水平，是目前国内首款针对热电堆应用的高性能专用集成电路
FEI热场发射扫描电镜共享
仪器名称：热场发射扫描电镜仪器编号：15008701产地：捷克生产厂家：FEI Company型号：Quanta 450 FEG出厂日期：201505购置日期：201505所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析放置地点：微纳平台光刻间固定电话：01062784044-216固定手机：135
清洗机共享应用
仪器名称：清洗机仪器编号：11023084产地：中国生产厂家：中联科利型号：CUC-XS004A-05-10-M-A出厂日期：200612购置日期：201111所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>清洗/湿法工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：宗莉（01
清华大学仪器共享平台金盛微纳－全自动磁控溅射系统
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
金盛微全自动磁控溅射系统共享
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zh
ICP刻蚀机Cl共享
仪器名称：ICP刻蚀机-Cl仪器编号：13015109产地：日本生产厂家：爱发科型号：NE-550H(Cl)出厂日期：201211购置日期：201309所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台(暨微纳技术实验室)固定电话：固定手机：固定email：联系人：李希
ICP刻蚀机F共享
仪器名称：ICP刻蚀机-F仪器编号：13015108产地：日本生产厂家：爱发科型号：NE-550H(F)出厂日期：201211购置日期：201309所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>刻蚀工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台（暨微纳技术实验室）固定电话：固定手机：固定email：联系人：窦维治（